En la preparación de agua ultrapura, la explicación del toc (carbono orgánico total) es crucial, utilizando la tecnología ultravioleta de baja presión y alta energía de ultravioleta - 185nm, combinada con el esterilizador ultravioleta - 254nm, puede producir radicales libres hidroxi en el agua a través de altas dosis de catálisis ultravioleta - 185nm, oxidando y degradando la materia orgánica en el agua para reducir el contenido de toc en el agua.